Место Россия, Санкт-Петербург
Email ekaterina@inno-mir.com

Впервые Балтийская конференция по атомно-слоевому осаждению проводится в Санкт-Петербурге, где профессор В.Б. Алесковский с коллегами и помощниками создал основы этой технологии 1950, широко известной сегодня под названием AtomicLayerDeposition (ALD). В конференции примут участие приглашенные зарубежные специалисты с докладами, отражающими последние достижения в развитии технологии и оборудования. Представители российских научных центров продемонстрируют свой вклад в применение ALD технологии для решения научных и производственных задач.

Конференция охватывает следующие тематические направления:
Металлы, нитриды, карбиды.
Приложения в микроэлектронике.
Механизмы реакций.
Разработка процессов.
Приложения в энергетике.
Микро- и наносистемы, физика и технология.
Измерения.
Гибридные материалы.